déposition chimique en phase vapeur

Chimie, Technique, IndustrieSynonyme de dépôt chimique en phase vapeur (cf. pour autres informations) : dépôt en phase vapeur par des processus chimiques.Organoradium. Il n’y a que l’acétylure de radium en phase gazeuse qui soit connu. Il est utilisé en déposition chimique en phase vapeur.La déposition chimique en phase vapeur assistée par laser (LCVD) est un procédé prometteur, mais complexe surtout lorsqu'il s’agit de déposer des structures tridimensionnelles à l'échelle microscopique.